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微型紅外光譜儀具有許多優勢
微型紅外光譜儀是利用物質對不同波長的紅外輻射的吸收特性，進行分子結構和化學組成分析的儀器。微型紅外光譜儀通常由光源，單色器，探測器和計算機處理信息系統組成。根據分光裝置的不同，分為色散型和干涉型。對色散型雙光路光學零位平衡紅外分光光度計而言，當樣品吸收了一定頻率的紅外輻射后，分子的振動能級發生躍遷，透過的光束中相應頻率的光被減弱，造成參比光路與樣品光路相應輻射的強度差，從而得到所測樣品的紅外光譜。
一般分為兩類，一種是光柵掃描的，很少使用；另一種是邁克爾遜干涉儀掃描的，稱為傅立葉變換微型紅外光譜儀，這是目前廣泛使用的。光柵掃描的是利用分光鏡將檢測光(紅外光)分成兩束，一束作為參考光，一束作為探測光照射樣品，再利用光柵和單色儀將紅外光的波長分開，掃描并檢測逐個波長的強度，后整合成一張譜圖。傅立葉變換微型紅外光譜儀是利用邁克爾遜干涉儀將檢測光(紅外光)分成兩束，在動鏡和定鏡上反射回分束器上，這兩束光是寬帶的相干光，會發生干涉。相干的紅外光照射到樣品上，經檢測器采集，獲得含有樣品信息的紅外干涉圖數據，經過計算機對數據進行傅立葉變換后，得到樣品的紅外光譜圖。傅立葉變換微型紅外光譜儀具有掃描速率快，分辨率高，穩定的可重復性等特點，被廣泛使用。
微型紅外光譜儀具有許多優勢，已成為一個重要的研究熱點。雖然采用組裝技術可以減小光譜儀的尺寸，但由于其效率低、成本高的固有缺陷，制約了其大規模使用的可能。采用基于MEMS的一體化集成技術，則可以克服這一缺陷。雖然目前光譜儀的集成化成本較高，但隨著MEMS技術的迅猛發展，以及光學元件設計的優化，該技術將成為光譜儀微型化的發展方向。